二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #293806761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是一个扩散炉和配件套件，用于制造集成电路（IC）和离散半导体元件。它是为驱动高层次集成电路制造技术而设计的，其特点是速度快，可重复性高，结果均匀性高。TEL Alpha 801D包括几个组件。所有组件包括用于用户输入和操作员反馈的触摸屏控制器。用户可以对流程序列进行编程并实时更改设置。这允许定制特定技术。该炉由一个外柜组成，内装水平配置的石英管，支撑高度可变。可以调整垂直和水平方向以提高过程均匀性。石英管配有两个双级轴流风扇，允许缓慢和快速流动（用于快速退火）。该炉还包括一个气体设备，它可以用H2自动为系统供电，形成气体、N2、Ar或S-2。该炉设计用于晶圆尺寸可达300 mm,最高工艺温度为1150 °C。扩散装置包括电源、电源和晶圆支架。该电源采用中频逆变器和高速开关技术，实现了高精度过程控制。该源包含一个高密度电阻靶和一个电动石英管，允许使用者在目标材料如硼、硅和荧光粉之间切换而无需手动更换。晶圆座设计用于正压和平整控制。持有人利用一个电动底座和一个多区加热器机器，允许用户在多个晶片上独立调节温度。TOKYO ELECTRON Alpha 801D提供控制工具与远程站点之间的无线通信。这允许用户共享数据和编程，实时监控流程。还包括一项检查资产，可用于监测关键工艺参数。Alpha 801D扩散炉及附件套件是一个强大而可靠的工具，用于IC和半导体工作。它提供自动化、高精度和改进的一致性,以提高效率和输出。该模型专为非常大的晶圆尺寸而设计，使其适合各种应用。