二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #9026274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是一种先进的扩散炉和附件，旨在使复杂集成电路结构的高效生产成为可能。TEL Alpha 801D的最高工作温度为1200 °C，适用于包括热氧化、化学气相沉积和高温键合在内的广泛生产过程。其独特的设计具有大型石英工艺室和精密校准的机电系统，保证最大程度的工艺稳定性和均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 801D提供了许多先进的功能,可以提高生产效率,包括石英晶体监视器、数字温度控制和高达每秒10°C的快速斜坡速率。该扩散炉采用数字离子泵，以极好的精度充分再现了所需的工艺气氛。其高效的氮气净化机制确保了不同工艺之间不存在交叉污染。Alpha 801D与一系列旨在最大限度地提高效率的配件集成在一起，包括样品冷却系统、自动开门器和射频屏蔽盖。它的样品持有者组件可以方便地进入加工室和易于操作样品。安全方面，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D具有紧急停车、安全互锁和辐射监测仪等几个先进功能。该扩散炉还与TEL专用半导体制造工艺监控软件兼容，以提高安全性和质量。总体而言，TEL Alpha 801D是生产先进微电子结构的理想扩散炉，其先进的特点、易用性和可靠性。该炉的设计旨在帮助简化生产流程，提高微加工工艺的效率和精度，并确保最安全的结果。