二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803 #293609357 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803是一款高性能扩散炉，专为创新工艺而设计，针对高端半导体器件开发、精准生产和性价比进行优化。TEL Alpha 803配备了高速数字信号处理器（DSP），用于精确的温度控制和参数优化。3°C均匀度的1100 °C的最高温度是通过其具有四面绝缘的氦冷式石英管腔实现的，使其适合于微处理器、内存芯片和功率晶体管等先进半导体器件的批量生产。这个扩散炉在相容性范围内是独一无二的，支撑着各种各样的半导体材料和基板组合。TOKYO ELECTRON ALPHA 803的温度范围为50至1100 °C，使其适合设备级扩散过程。利用双区加热，可以更精确高效地控制晶圆不同部位的温差。该炉还配备了快速反应系统，增加了整个平板的热均匀性，能够快速加热而不会造成热损伤。Alpha 803附有一套先进的配件，包括一个用于溶剂蒸气处理的汽化器、一个用于高频等离子体处理的氧化/燃烧室，以及一个用于监测化学反应和给出扩散速率反馈的反应监测仪。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803也具有极低的压力容量，允许从蒸气室进行离地电镀，即使在极端低压条件下也是如此。这对于晶圆的制造特别有利，因为镀层速度更快，设备损坏最小化。TEL Alpha 803的自动主动冷却系统可实现高温稳定性和均匀性、可预见的系统可扩展性,以及用于高通量抽空处理的自动检测排气管。炉子内置的程序日志功能对于跟踪和回忆过去的过程和历史记录也很有用，允许有效的过程优化。TOKYO ELECTRON ALPHA 803是一款人性化、可靠、强大的扩散炉，适用于高端半导体器件的制造和生产。凭借其先进的特点，能够生产出极低温度偏差的高品质晶片，这对于微芯片植入至关重要。因此，Alpha 803对于有大规模生产要求的行业尤其有用。