二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9261383 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是一种高度先进的扩散炉及配件设备，设计用于提供微电子器件制造的薄膜沉积和离子植入过程。它是一种双室垂直移动性增强扩散炉系统，具有较好的工艺控制，可在可行的沉积时间内实现最佳薄膜生长。TEL Alpha 803D扩散炉装置采用独特的单源双室炉设计，同时采用质量限制和重载工艺，以提高均匀性、更有效的热力机、改进前体种类的通量、减小层厚度变化以及优异的扩散性能。此外,TOKYO ELECTRON Alpha 803D工具还包括一个高端可编程逻辑控制器（PLC）,它提供对所有资产功能（包括温度、压力和时间设置）,以及用于个人保护的嵌入式安全功能的完全控制。Alpha 803D型号的炉膛采用0.04英寸（1毫米）高的不锈钢制成，提供100至1200摄氏度（212至2192华氏度）的温度范围。该腔室进一步配备了MIMOT增强控制技术，设计用于在控制整个腔室的温度和均匀性时提供灵活性和精度。增强移动性技术（EMT）是一种独有的移动性控制设备，可产生高度均匀、精细和可重复的沉积速率，同时延长扩散寿命。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D系统具有先进的功能,在沉积、蚀刻和植入过程中提供卓越的精度、均匀性和可重复性。TEL Alpha 803D单元还拥有一整套专业配件，包括原位传感器、高效粒子分析机、实时光学诊断工具以及多通道气体输送设备。这些配件极大地增强了资产的灵活性和性能,同时提供了极高的安全性和可靠性。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 803D模型还包括一个先进的CVD腔室，该腔室能够产生最高的质量和沉积均匀性，从而能够实现各种各样的设备制造应用。总体而言,Alpha 803D设备是先进微电子器件制造的理想选择.它具有极高的温度和均匀性控制,其CVD和MIMOT增强控制技术具有无与伦比的灵活性,以及完整的专用附件系列,可提供高效可靠的制造体验。