二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9287449 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是为现代半导体器件制造和工艺开发而设计的最先进的扩散炉及配件。该产品线是TEL系列扩散炉的一部分,提供无与伦比的控制和性能.TEL Alpha 803D是用于生产和开发的通用工具,具有用于温度分析的智能热电偶输入控制器和强大的数字信号处理器,可满足流程灵活性。该炉配备了功能强大的基于PC的实时硬件和软件设备，用于闭环数字加热区控制和区域测量。TOKYO ELECTRON ALPHA 803D利用两个高性能电阻加热的工艺室--一个内坩埚和一个外部区域--具有均匀的温度和极好的稳定性。外部区域由变频电动机驱动，包括ID和OD、PID/PIV和时间控制。热电偶输入控制器提供5条曲线的温度剖析，包括自动调谐、曲线操纵和实时反馈。Alpha 803D的设计旨在确保在扩散、氧化、氮化、合金化、退火和其他半导体加工等应用中获得可靠和可重现的结果。该系统的工艺温度范围高达1000 °C,控制精度± 2°C,均匀度± 3°C,可提供一致且高质量的晶圆结果。它还具有自动化的流程计划,便于操作,并提供整个流程的详细反馈和分析。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D的其他功能包括多气体输送装置、安全选装的空气/气体监视器和泄漏检测机、高温CCD照相机监视器，以及一种感光器的选择。该工具的卓越性能通过其高品位的绝缘、防漏和腔室密封技术得到进一步提升。综上所述，TEL Alpha 803D是一种先进的扩散炉，为半导体器件制造提供了卓越的精度、可靠性和可重复性。其多气体输送资产、自动化过程计划以及温度分析和控制功能使其成为开发和生产应用程序的宝贵工具。