二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9290885 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是专门为满足半导体工业需求而设计的先进扩散炉。TEL Alpha 803D具备最高的可靠性,并提供顶级性能和功能。TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是一种多合一扩散炉，将所有的基本部件整合到一个单元中，便于设置和操作。Alpha 803D可以同时容纳多达七个晶片，并且能够以每分钟30升的气体流量运行至800 °C。它允许高精度的沉积过程如扩散、氧化和氮化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D还提供精确的温度控制,用于在整个腔室中均匀分布的加热。此外，TEL Alpha 803D还包括一个内置气体系统，该系统具有自动降泵功能，可在每个沉积过程完成后控制排气。TOKYO ELECTRON ALPHA 803D具有多项功能,有助于确保安全和高效运行。它包括一个钛合金室和石英窗，以防止潜在的危险气体，而点火互锁则阻止操作员在开门时运行炉子。Alpha 803D还包括一个安全启动计时器来控制启动序列。其他功能包括开放的系统体系结构和在线监视功能,允许操作员从远程位置查看和控制进程。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D还包括一个板载自动卡带装载机和用于大规模应用生产的卸载机。最后，TEL Alpha 803D与一系列附件兼容，如射频等离子体源和质量流控制器，进一步增强了它的能力。TOKYO ELECTRON Alpha 803D因其可靠性、性能和特点，是半导体加工和沉积应用的理想选择。它的升级和全面的安全系统使得它成为任何制造设施的必备品。