二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293622215 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SC是一种扩散炉，其附件用于生产低成本集成电路（IC）晶圆。它旨在处理各种扩散需求，包括氧化和热氧化过程，同时提供高精度的过程控制。803SC设备由8英寸晶圆供应模块和晶圆处理系统组成。晶圆供应模块包含一个高精度的水平炉室，连同一个电源、一个疏散单元和一个气体分配机。气体分配工具为热氧化提供了适当的大气，温度、压力和流量均可精确调节。晶片处理资产采用气体盒和非磁隔离模块的组合，以及旋转臂、X-Y晶片平台和RV轨道，允许单晶片和批处理。TEL Alpha 803SC的特点是通过控制炉膛的输出为晶片提供高度均匀的加热。此外，803SC还包括一个气体供应模型，该模型允许精确控制热氧化过程所必需的氧分压。该炉设计为提供最精确的温度控制，以确保均匀氧化。热阻耐火室和强制空气冷却设备在整个室内保持均匀的温度分布。803SC系统还配备了多种安全功能，以确保安全运行。这包括温度检查控制单元、氧气监视器/警报、真空监视器/警报和压力安全阀。这些组件中的每一个都设计用于保护操作员、晶圆和腔室在发生意外时不受任何损坏或故障。作为一个额外的保证水平，该炉还由先进的耐腐蚀不锈钢构成，能够承受极端温度和化学物质。使用803SC单元,用户可以保持严格的过程控制,并提供一致、高质量的结果。该803SC非常适合在从消费电子产品到汽车产品和医疗设备的广泛应用中生产集成电路。