二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293651969 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SC是一种扩散炉及其相关配件。它是一种高性能的水平热处理炉，旨在以各种方式处理各种材料。该803SC是用于加工半导体晶圆的高效工具。TEL Alpha 803SC配有一个石英管，水平穿过加工室的中心，由石英套管保护。它具有200至1175摄氏度的可调定点温度和高达1200摄氏度的加工温度。加工管长48英寸，最多可装两个25英寸晶圆。该管配有两个可移动的电极，允许从头到尾均匀甚至加热。另外,电极安装在橡胶支架上,以便安全操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 803SC还具有高精度控制器，可用于操纵腔室压力、温度和清除/加载时间等参数。控制器包括触摸屏图形用户界面，可用于控制腔室内的真空水平，使操作员能够实现对最佳处理条件所需参数的精确控制。该803SC还配备了气体控制模块，该模块允许将气体添加到工艺室内，以创造所需的环境或补充工艺。它旨在与各种标准气体兼容，并能够控制气体的溷合，确保完成这一过程并取得预期的结果。该803SC还配有安全电路组件，包括气体泄漏检测系统，以及在紧急情况下保护设备和人员的热关闭系统。总体而言，Alpha 803SC是半导体晶片的高效热处理工具。它具有可调节的设定点温度和用于精确控制参数的高精度控制器。它还配有安全电路组件和气体控制模块，用于处理不同的气体。