二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293622216 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD扩散炉的设计提供了优良的产品均匀性和专门的氧化和扩散需求。该扩散炉可用于驱动多种过程，包括热氧化扩散、浅结形成、闸门氧化物形成。TEL Alpha 803SD是一种高效的垂直式扩散炉,工艺范围广.它的双盒式穿梭机设计允许通过缩短工艺时间和消除手动转移的需要来增加吞吐量时间。一种新开发的统一控制系统通过应用特殊的统一控制程序来确保有效的统一控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD配备了先进的热控制系统，保持高性能的过程控制而不牺牲其他过程。热控制系统最大限度地减少因环境条件变化而产生的变化，同时提供有效的过程控制。此外,多库设置功能可实现大面积处理和小批量生产,提高准确性,实现高效、可靠的流程。Alpha 803SD还具有低温热处理功能,可获得所需的RTA和低热预算。这种低温热处理可以改善氧化物化学计量控制、介电/金属界面控制和表面粗糙度等特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD还附有各种其他特性，如化学源回填、轨道和平台加热、自动化化学泵送、各种I/O端口和真空再生系统。这种广泛的功能允许在完成各种过程时提高灵活性和准确性。TEL Alpha 803SD扩散炉是为满足最苛刻的扩散过程要求而设计的先进产品。其广泛的工艺范围和有效的控制确保了产品的均匀性,而其多库设置和低温热处理功能使其成为实现各种工艺目标的重要工具。