二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293651970 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD是一种高性能扩散炉及其相关配件。该系统为各种半导体和光电材料提供准确可靠的处理。它用于CVD和PVD工艺、晶体沉积或晶圆制造等多种应用中。TEL Alpha 803SD由多种组件组成,每种组件的设计都有助于确保工艺参数保持最佳状态。其扩散热壁式炉膛采用21-4N不锈钢结构，其尺寸提供了宽敞的内部容积，可提供充足的基板面积。此外，腔室的天花板和墙壁有很大的加热面积，使得不同基板上的温度轮廓均匀。所有操作均由易于使用、用户友好的图形用户界面（GUI）控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD的高达1,000 °C的精密温度范围可以调整以适应各种应用。同时，其先进的均匀性控制技术旨在减少温度区之间的变化并防止热点。此外,还可以存储各种配方以自动执行流程,从而确保一致地交付所需的结果。Alpha 803SD还具有多种安全功能,包括独立的加热区和气阀互锁。它还配备了强制空气冷却系统，与广泛的气体和工艺自由基兼容。它的模块化特性确保了方便的维护和服务，坚固的结构确保了可靠的操作和延长的生命周期。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD是一种高性能、可靠高效的扩散炉，适用于许多应用。它的模块化设计便于安装和维护，而其先进的安全特性保证了安全运行。其宽广的温度范围、均匀性控制、大腔室使其成为多种扩散过程的理想选择。