二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293642578 待售
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ID: 293642578
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Furnace, 8"
Process: TEOS
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 1/4" UJR / Utility box
TEOS / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS:100 V, Single Phase, 3 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C是一种多功能扩散炉，配有一系列附件，支持广泛的应用。它旨在提供标准包装中最精确的温度控制。TEL Alpha 805C允许所有基板在200至1250°C之间进行精确的热处理,并且在晶圆上具有很高的均匀性。它具有氧化、LPCVD和快速热处理能力，可以补充高温氮、硼酸三甲酯氮（NTMBS）、氨（NH3）、氢和氯。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C系列扩散炉采用创新的加热器绕组系统，确保精确的温度管理和均匀性。该系统有助于通过更好的温度控制来减少气体消耗，并且高效，为氧化和LPCVD工艺提供最高工作温度。为了最大程度地提高温度均匀性，两个气区提供了整个晶圆的精确温度控制。这种设计还有助于控制炉子的气氛，减少任何热梯度。Alpha 805C是为快速高效的操作而设计的,具有高吞吐量的生产能力。周期时间快，能处理周期时间短的大批量生产。为安全起见，该炉采用坚固的安全传感器，可检测任何过流、短路和工艺气体不一致。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C以其大型的原位溷合碳氢化合物洗涤器，为安全高效的运行提供了清洁的环境。该炉还设计有冷却冷凝器选项，可以安装外部排气风扇，以帮助减少内部温度波动。控制面板上的7段彩色显示屏提供了熔炉运行状态的清晰指示。TEL Alpha 805C还能够进行多步骤操作和工艺配方生成。TOKYO ELECTRON Alpha 805C是大批量生产应用的理想选择，提供出色的温度控制、快速的周转时间和优越的均匀性。凭借其可自定义的设计和各种功能,用户可以轻松定制以满足他们的确切需求。Alpha 805C是扩散过程和高精度热过程的理想选择。
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