二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293756811 待售
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ID: 293756811
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Furnaces, 8"
Type: LP-CVD
Process: TEOS
FUJIKIN Air valve
VMM-35-001 Heater
MFC, MFM: STEC
Gases: PN2, O2, TEOS
Operating panel
Gas flow chart panel
Panel switcher
Hardware switches
Floppy Disk Drive (FDD)
Heater chamber
Process tube (Reaction tube)
Auto-door
I/O Port
Cassette transfer
Stocker
Transfer stage
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Scavenger
Cooling water unit
Temperature controller
Machine and pressure controller
Boat stage
(5) Fork
Signal tower
Manifold
Display
Power control system
Gas unit
Vacuum sensor
ETC
Power:
3 Phase, 208 VAC
Single Phase, 100 VAC
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C是一种扩散炉，有多种附件，用于基板的受控加热和蚀刻。主室加压，分成两个独立的加热区，以最大程度的精度和控制工艺条件。主室配有两个独立可控的加热元件，使主室和辅室分别保持两个不同的工艺温度。主室设有两个可手动调节的架子和一个可调节的气体喷射口。辅助室设有手动调节压力传感器和排气管。TEL Alpha 805C扩散炉采用交流200V/220V或50/60 Hz的单相电源供电，并配有多种安全特性。如果出现任何异常情况,会发出超温警告指示灯和蜂鸣器警告操作员。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C具有直观的LCD图形面板显示,以便于跟踪工艺条件。该显示器还具有流程配方数据存储功能,能够轻松监控关键流程参数。它还在整个过程中提供精确的温度设定点和温度维护，实现准确一致的扩散处理。Alpha 805C扩散炉具有多种用于薄膜蚀刻和沉积的附件。其中包括用于装有底物的蚀刻篮，用于控制蚀刻速率的石英衬里，以及用于调节底物之间距离的吊杆。它还带有各种用于蚀刻和沉积过程的气体入口配件。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C还配备了多种附件，用于监控和控制蚀刻过程。附件的选择包括氧气气体流量计和控制阀，热电偶，以及自动PID控制器。TEL Alpha 805C扩散炉具有可重复、高精度的热处理和蚀刻工艺。它设计用于高容量、可重复的蚀刻工艺，适合在高真空工艺环境中运行。这种扩散炉提供了可靠和准确的结果，并且可以在广泛的工业、实验室和教育环境中使用。
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