二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293775688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C是一种精密的扩散炉和辅助配件，能够处理半导体材料。它由一个最先进的333M大容量、超高速、高响应能力的控制器提供动力，用于各种氮化物和多晶硅工艺。该设备设计用于P型和N型扩散，包括多个自动化过程。TEL Alpha 805C具有很高的可靠性，提供出色的一致性和产品质量，这对于半导体生产过程中的质量保证至关重要。它是一种高度可定制的解决方桉，具有快速热处理、原位氧化和P型掺杂等特点。它提供高达1300 °C的宽温度范围,以及多个斜坡速率,以最大限度地提高吞吐量。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C还提供了广泛的过程控制功能，包括控制腔室压力和传热系数。气体管理系统由一个均匀的冲洗泵和一个冷却液泵组成，为高精度、可重复的过程提供一个均匀的环境。它还包括一个高级温度程序，它可以为应用程序选择最合适的配置文件。Alpha 805C具有多种配件,可提高工作效率。它包括机械手，如晶圆（散热器）升降机、装载机/卸载机和温度程序员。它还包括一个用于维修的先进室内清洁装置和一个用于提高安全性的气体管理机器。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C配件还包括一个用于工艺集成的板载控制器。TEL Alpha 805C易于安装和管理,非常适合生产环境。技术支持由技术熟练和经过认证的技术人员提供，技术人员集中于工艺开发和热控制技术。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C为生产高质量的半导体元件提供了一种价格合理且高效的选择。