二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622165 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是一种先进的扩散炉及其配件，设计用于硅制造及相关工艺。该805CN是一种超低温扩散炉，提供极其精确的温度控制，减少排放输出，提高均匀性。该805CN是一个模块化设备，有8个单独的熔炉堆栈，每个堆栈都可以独立监测和操作。TEL Alpha 805CN的最高温度为1350 °C，加热功率高达18千瓦。扩散室配有内置气体供应和排气系统，使氟和氧等气体以及硅酮等其他特殊气体得以精确有效地扩散。它还配备了用于远程监控的先进数字通信接口。该805CN具有创新的软件包以及强大的控制单元,可实现复杂的过程控制。这包括温度优化、数据记录、自动控制和警报管理。强大的控制机器旨在实现精确和精确的预设温度设置,并帮助确保整个扩散室的温度分布均匀。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN提供多种配件。载流子模块的设计是为了确保整个腔室的大气均匀，增强扩散过程的均匀性。还提供了各种热电偶、传感器和连接器，用于精确的温度读数和控制。扩散室还设有对流还原盖和热辐射屏蔽，有助于减少热能损失，提高工具效率，最大限度地减少颗粒污染。805CN炉还可以与附加配件一起使用，如石英船和钟形冷却射流，以帮助确保一个均匀的冷却气氛。Alpha 805CN是一种用途广泛的资产，适合广泛的扩散过程。它特别适合需要非常低的处理温度和极其精确的温度优化的应用。该805CN具有先进的数字通信接口和各种配件，是硅制造及相关工艺的绝佳选择。