二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622212 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是一种CVD/PECVD多用途扩散炉,非常适合半导体材料制造。这种最先进的扩散炉具有900°C的高温,有一个适合容纳多种大小晶片的大型加工室。此外,它还具有精确的直流加热能力,以实现精确的温度控制.扩散炉具有过热检测、泄漏检测等优异的安全性能.它还具有低热噪声和清洁排气系统,确保安全和清洁的工作环境。此外,它还包含了广泛的配件,包括一个汽车气体流量计、一个超薄高温加热器,以及一个改进的真空热室盖,用于泄漏密封性。扩散炉具有很大的操作灵活性.增加自动控制系统可实现高效和自动化的操作,从而无需手动操作。此外,晶圆处理更容易通过结合先进的汽车运输系统。TEL Alpha 805CN还得益于改进的工艺控制,通过测量目标腔室温度的传感器以及显示器上的实时显示器,提高了工艺精度和可靠性。它还具有先进的数字注册、远程监控和智能数据记录功能,允许用户随时访问有价值的信息。总体而言,TOKYO ELECTRON Alpha 805CN是一种高效、可靠和安全的半导体制造用CVD/PECVD扩散炉,为清洁和安全的环境提供了极大的灵活性和改进的工艺控制。其用户友好的设计使其适合在许多工业和研究实验室应用中使用。
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