二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622217 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是为生产半导体而设计的扩散炉。它是热氧化、氮化硅形成和结氧化等多种应用的理想选择。TEL Alpha 805CN是一种重型扩散炉，配有垂直石英管、原位机械脱蜡机构和可选的炉气歧管。石英管对硅晶片污染具有很高的抵抗力，提供出色的热控制和工艺控制。管子设计有一个特殊形状的入口，由两个弹簧支撑，并由淋浴电极加热，以促进更好的均匀性。炉式气体歧管提供气体流量控制，允许分开的废物和入口气体以及分开的冷却和气压控制。它还具有独立切换主要废气和回收系统的功能。集成的机械脱瓦器包括一个专门的洗涤设备，它消除了逃逸的颗粒和污染物。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN进一步配备了TEL KVM-eXView（专有知识和维护-增强的eXtreme视图），允许操作员通过基于Web的访问在本地或远程监视晶圆状态、工艺条件和维护条件。该炉的设计便于安装在各种各样的环境中。Alpha 805CN的其他功能包括自动调平托盘交换系统、可调开口尺寸和浮动充电单元,以优化工艺可靠性。选择性氧化过程由TOKYO ELECTRON专利均匀性控制（UC）机控制，有助于降低LPCVD过程中金属接线层的应力和缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN具有广泛的温度均匀性和屈服解。它在广泛的过程温度（包括低温过程）下提供出色的均匀性性能。它还能够在有限的范围内处理更高的温度，同时保持极好的均匀性。该炉能够维持高达1,200 °C的温度，均匀度为+/-0.3 °C/W。总体而言，TEL Alpha 805CN是一种强大可靠的扩散炉，非常适合生产半导体。它具有坚固的设计、出色的热均匀性和全面的控制特性。结合其高效的废弃物清除和可选的气体歧管，TOKYO ELECTRON Alpha 805CN是任何半导体制造工艺的理想选择。