二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293651966 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是为最大化效率而设计的扩散炉。这种坚固可靠的炉提供了统一的温度控制、快速加热和重要参数的精确控制。TEL Alpha 805CN适用于外延生长、硅化、聚硅沉积和植入等各种扩散应用。其特点包括高效的不规则形状石英管、高温设计、多离子衬里（MIL）晶片架和E型温度传感器。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN能够在短短四分钟内达到1600°C，并在整个晶圆表面统一的温度控制。Alpha 805CN还支持SAGF（基板辅助气流）工艺，在温度控制和多硅沉积方面进一步均匀化。多区MEL（Multi-zone External Lift）增强了均匀的温度轮廓，以及可重复和可控的增长过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN的精确温度控制是通过使用温度控制器实现的；温度传感器和热传感器技术。TEL Alpha 805CN提供的E型温度传感器能够测量从低于室温到1600°C的温度。该炉还提供了使用L（长度）型温度控制器的选项,这是一种灵活、经济且高效的设备,可保证精确的温度控制和均匀性。对于多区域方法，TOKYO ELECTRON Alpha 805CN提供了一个4区域分割，也可以很容易地连接和外部控制。该炉还提供各种选项来配置和设计自己的配方扩散.此外,Alpha 805CN还提供化学机械升降机（CML）、LIN（低内压）系统和多种气流控制选项。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN还提供以下安全功能：过载保护开关、电气再造器、自动低压探测器、自动高温探测器、紧急热电偶和石英管空气冷却。这些特点确保了炉子的安全运行，降低了扩散过程的潜在风险。总体而言，TEL Alpha 805CN是一种有效的解决金属化、外延和其他扩散过程的方法。它配备了必要的组件,以便为各种应用程序提供快速、高效和准确的操作。