二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #9071568 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是为快速、精确、高效晶圆加热和处理而设计的高端扩散炉及配件。这种单室装置的设计是利用两级清洗工艺来生产一贯清洁的晶片。这个过程从氮气和氧气的结合开始，去除了晶片中的任何微粒。然后，第二阶段使用压力均衡冲洗氮来去除任何残留颗粒。这种单室扩散炉采用与TEL行业领先的FPD和RTP产品相同的节能热成像系统，并增加了离子植入模块。此模块允许在任何给定的过程中精确调整晶圆温度。该炉还具有独特的双层垂直石英管布置，可有效加热晶圆，从而提高加热速率并改进晶圆平整。TEL Alpha 805CN扩散炉还包括一个高度敏感、自动化的压力和温度控制系统，以确保均匀煮熟的晶圆。这样可以确保在炉中加工的所有晶片都在温度设定点的范围内。它还包括一个绝缘真空外套，以良好的保温。这种绝缘确保更快的散热和提高能源效率。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN扩散炉也是用户友好和易于使用，具有直观的触摸屏显示。它完全适合任何行业标准尺寸,并且与任何TOKYO ELECTRON现有产品线兼容。此外，凭借其高端能效，它在电力和维护成本方面提供了更多的节约。Alpha 805CN是一种先进的扩散炉和附件。它设计为高效、易于使用、节能、经济高效。它非常适合任何需要可靠、经济高效的扩散炉的供应商或制造商。