二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293792359 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D是半导体工业中用于制造硅晶片的扩散炉及配件。最高温度1600°C，快速热处理（RTP）设备，三区集成气体控制系统。它能够以低成本提供先进设备制造所需的最佳、均匀性。TEL Alpha 805D扩散炉有一个石英垂直式腔室，旨在提供更好的均匀性和均匀的温度分布。石英室由上、中、下三个室组成，提供最大可控扩散环境。此外,该腔室还有一个视图端口和联锁装置,以确保安全。TOKYO ELECTRON ALPHA 805D扩散炉设有三区集成气体控制系统。这些系统通过监测气体供应条件和腔室环境压力，为三个腔室中的每一个提供精确的低接触气体溷合和流量控制。Alpha 805D扩散炉还具有快速热处理（RTP）系统.该单元通过允许室内环境的快速加热和冷却来提高扩散过程的效率。机器允许用户设置过程的加热和冷却速率以及时间和温度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D扩散炉还包括精密真空泵。该泵可用于保持室内均匀稳定的压力，以获得最佳效果。它还具有高性能的温度控制机制，保持室内温度均匀。最后,TEL Alpha 805D扩散炉配备了先进的监测工具.此资产可用于监视每个区域和腔室的温度和压力,以及跟踪与扩散过程关联的所有参数,包括设定点、过程时间和任何错误。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 805D扩散炉提供了一种高效、精确的硅片制造方法，以低成本提高了性能的均匀性和均匀性，提高了安全性。是适用于半导体行业的可靠、经济高效的扩散模型。