二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293806762 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D是用于生产半导体芯片和其他电子元件的扩散炉及配件。它旨在为掺杂、热氧化、退火等广泛应用提供高温、高精度。TEL Alpha 805D专为高温操作而设计，可达到高达1800 °C的温度。其精确再现温度的能力使其成为大批量生产工艺的理想选择。该系统配备了具有精确高热恒定能力的温度控制器，允许在± 2°C内均匀分布和热梯度，使炉子能够以最高精度和进动水平运行。TOKYO ELECTRON ALPHA 805D可用于一系列的扩散操作，包括光分裂掺杂（LSD）、高压湿氧化（HPWO）和低压干氧化（LPDO）。LSD是一种掺杂形式，利用轻质气体在底物材料中引起化学反应，从而产生更快的扩散速率和更低的热预算。HPWO是一种使用高压和湿式氧化剂（如氧气或臭氧气）进行氧化的过程，这些氧化剂预先溷合到溶液中，然后泵入炉中。这使得氧化过程比传统方法进行得更快、更高效。最后,LPDO是一种使用低压、低温氧化气体（如氮气）并采用较低热预算的干燥氧化工艺。利用Alpha 805D，可以实现高精度的高温扩散处理。它专门设计用于广泛的基板和材料，包括SiC基板、GaAs和GaN。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D很容易集成到现有系统中，可以与VSC-8300、VSC-3000和VSC-1800控制设备集成，从而增强精度和控制。TEL Alpha 805D还具有许多安全功能和协议,包括自动关机和应急响应功能,以确保最高级别的安全和可靠性。另外，该炉由不锈钢加热室和惰性气体气流构成，具有优异的耐久性和减害性能。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 805D扩散炉和附件是一个用途广泛且可靠的系统，它提供了一系列可用于各种应用的功能。其高精度和精确度，以及安全性和可靠性，使其成为生产和制造电子元件和半导体芯片的理想工具。