二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #9355781 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D是一种扩散炉和附件，旨在为高性能电子设备提供快速、可靠的扩散处理。它具有易于使用的用户界面、高级功能和卓越的可靠性。炉子及配件采用标准的3英寸铸锭容量，其坚固高效的气体扩散设备在整个基板上提供均匀加热，消除了潜在的热点。TEL Alpha 805D配备了先进的强大温度控制系统，包括PID控制器、自动温度分配控制和电源故障锁定（电源将自动切断）。这确保了精确和均匀的扩散过程，具有可重复和可靠的结果。其温度范围广，目前最高温度为1600°C，大大提高了工艺速度和产量。该单元还具有高级自动调谐功能，可以根据基板的温度自动调整控制设置。TOKYO ELECTRON ALPHA 805D的配件包括一个气室、多个温度感应器、气体分发器和一个顶板。腔室允许快速、无湍流地引入过程气体，确保均匀扩散过程。温度传感器提供精确的电流和内部烤箱温度读数，以及作为过程控制机器一部分的历史数据。气体分散器允许引入最多三种不同的工艺气体，而不会影响整个基板的均匀加热。顶部屏蔽实现了对过程环境的更大控制,确保了过程的可重复性。Alpha 805D是一种可靠和先进的扩散过程工具。它提供了高效、安全的扩散过程，其用户友好的界面和自动调谐功能确保了准确性和可重复性。其最高温度和智能特性使其非常适合高性能电子设备。