二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #143861 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN是为工业市场设计的扩散炉及配件。设计用于高温基板上的加热、处理和蒸发部件。它的特殊性是能够用alpha pellistor调节它的温度，从而使过程参数，例如蒸发压力。TEL Alpha 805DN是一种多腔涡流炉，装有直径200毫米和直径300毫米的蒸发室。热区配有两个独立的石墨加热器，最高温度能力高达1750 °C，由变频驱动器驱动。作为一个安全的特点，用CVDO-TCP温度控制系统监测炉温。双室TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN实现了广泛的过程控制，如多离子源和层控，具有丰富的过程参数，如剂量率、准时斜坡和准时热。此外,还提供了一种可编程增长率、过程时间和蒸发时间的自动固体控制。Alpha 805DN还具有其他先进的特点，如双前锋在不破坏真空的情况下进行源交换，一个气体喷射器单元供应指定的气体，以及一个可移动的石英窗口来监测炉膛性能。此外，各种传感器，如高温计作为标准设备附着，可根据客户的应用增加多种可选配件，包括单、双石英管、遥控、真空计单元等。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN是一种强大可靠的扩散炉。它的灵活性和工艺参数范围为用户提供了生产高质量、精密元件的最佳条件。TEL Alpha 805DN还提供卓越的安全性,使其成为工业应用的理想工具。