二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #293622218 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN是一种扩散炉及附件封装，专门为至微芯片生产而设计。该封装由扩散炉、排气设备和加热的环境供气相结合，允许用户在精密微芯片基板上进行沉积、氧化、退火和蚀刻等高精度工艺。该扩散炉采用垂直石英管和顶部装载机，在800-1250°C的温度范围内提供极好的晶圆均匀性。强大的气体溷合系统和高均匀性保证了对薄膜、沟槽和间隙蚀刻的严格控制，而加热器模块和石英管上的边缘绝缘防止材料在芯片边缘附近氧化。排气装置包括强大的吹根机、单级洗涤器和除尘过滤器，从而能够快速、高效地清除加工气体、颗粒物、粉尘和有害物质。加热的环境空气供应使用户能够快速创造最佳芯片性能的必要环境。TEL Alpha 805DN由一个时尚的控制控制台操作,该控制台采用用户友好的触摸屏控制,用于温度、压力和气体输入。机器也可以被编程为可重复的进程运行，允许用户创建一个一致的、高质量的产品。此外,嵌入式传感器允许用户监控温度、压力和处理时间,确保每次都能获得准确可靠的性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN专为高通量生产线而设计,具有一系列安全功能,包括精密的PID控制器和实时流程日志、最大限度减少过热和过热的保护机制,以及带有自动互锁机制的门。该包适合最具挑战性的扩散过程，是理想的大批量生产解决方桉。