二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SC #293622204 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC是一种高品质的扩散炉，为多种工艺提供精确的热控制和宽广的温度范围。它是设备制造等相关行业的宝贵工具。TEL Alpha 805SC旨在满足要求最苛刻的流程的需求。它能够产生均匀、受控且具有高均匀性和可重复性的温度曲线。较大的腔室可以同时处理几种基板。此外,较大的腔室体积和高达950°C的快速温度,± 2°C的精度,确保了关键应用的一致结果。TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC具有较低的热梯度，可以在整个晶圆表面保持均匀的温度。在三个温度区监测和维持腔室温度，以确保均匀加热。它还具有一个多点炉接口，能够与晶圆映射系统连接，从而能够监测和控制多达28个热电偶站点。Alpha 805SC还配备了几个安全系统，包括氮气净化和水冷，以确保操作员和系统安全。此外，该炉还设计了便于维修和免维护的加热元件，以保证正常运行。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC是一种高性能、可靠且高度先进的扩散炉，应用范围广泛。它是半导体器件制造和LPCVD、ALD、RTP、HTM等先进工艺的理想解决方桉。其精确的温度控制、宽广的温度范围以及晶圆表面的高均匀性使其成为任何先进工艺的理想选择。