二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SCN #9215213 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SCN
ID: 9215213
晶圆大小: 8"
Diffusion furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SCN是一种高性能扩散炉及附件包装,为使用者提供工业强度的解决方桉,以满足其设施的扩散需求。它旨在在一个易于使用和高效的程序包中执行所有扩散过程。这包括高温热和化学过程。炉子本身由不锈钢製成,并有多项功能,以确保无论情况如何,都能为使用者提供所需的性能。加热区提供高达1200 °C的温度,而冷却区则确保最低40°C的转变。炉子还有一个防热区,防止敏感部件加热,提供额外的灵活性。扩散过程包括两个不同的阶段:应用要扩散材料的薄层和内部加热沉积室以激活所需的扩散过程。该805SCN有一个集成的扩散室炉,具有大的石墨敏感器,具有极好的均匀性和较大的冷却区。集成的数字控制器可实现精确的温度和时间控制,从而可以设置非常特定的参数。805SCN的扩散配件套件包括多个crucible、敏感器、泵、传输系统和装载系统,每一个都可以互换,以保证最高品质的性能。这包括蒸发源和调节器,可在保持热稳定性的同时精确控制沉积过程。该805SCN还配备了广泛的流程监控工具。有真空计、热电偶、Lambda探针等传感器,用于精确的温度测量和材料分析。此外,内部环境的均匀性与集成气体分析仪和压力调节器保持一致,以获得最佳效果。综上所述,TEL Alpha 805SCN是一个高性能的扩散炉和附件封装,旨在执行所有的扩散过程,方便和高效。它有一个集成的扩散室、大型石墨敏感器和用于精确温度和时间控制的数字控制器,以及一系列的监控和附件。它是众多扩散应用的理想设备。
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