二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808 #293589210 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808扩散炉是针对工业热处理需求的高科技解决方桉。这种最先进的熔炉为执行各种专门工艺提供了一个高效的平台。它包含一个石墨钟形罐和石英船和一个氮化硅装载端口。它还具有超高真空(UHV)保持室、真空处理室以及用于添加剂工艺的惰性气体喷射设备。TEL Alpha 808是一种可编程炉,使用功能强大的可编程逻辑控制器(PLC)进行自动化操作。它具有温度、电流、电压、气流、脉冲时间等多种可编程参数。此外,TOKYO ELECTRON Alpha 808还配备了易于使用的前面板界面,可手动操作和精确可视化腔室条件。该炉采用先进的隔热系统、先进的冷却系统和精确的温度控制,设计用于可靠、快速的热处理。它总共使用八个加热模块,最高温度从RT到1000 °C不等。加热模组由戈尔-特克斯陶瓷材料构成,可以让炉保持精确的温度而不会快速冷却或不均匀加热。此外,Alpha 808还安装了一个扩散预热室,可以更快、更可靠地扩散材料,而无需单独的加热器。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808附有许多配件,以适应不同的处理需求。这包括一个热线薄膜沉积装置、一个低压化学气相沉积(LPCVD)机器、蒸发器源的水冷、一个用于源材料运输的石英反应器以及钟形罐和超高真空室的盖。TEL Alpha 808还配备了远程监控工具,使技术人员能够从安全距离监控炉况。它还包括一个独立的安全资产,在温度超过1000 °C或腔室压力降至一定水平以下时关闭炉子。TOKYO ELECTRON ALPHA 808的所有这些先进特性使其成为任何研究或工业环境中的宝贵资产,提供可靠和快速的精细材料热处理,且污染或损坏风险最小。
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