二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808 #9394399 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808是为半导体工业设计的先进扩散炉及配件。它是各种半导体器件生产中高温退火工艺的理想选择。它的设计将可靠性和易用性与复杂的自动化功能结合在一起,以确保最大效率和产品产量。该炉采用紧凑、坚固的设计，通过其数字闭环反馈系统提供卓越的热性能。多区温度控制器仔细调节载荷室中的温度，每个区都有独立的控制。这样可以确保整个腔室的温度均匀，并且可以提前编程以优化退火过程。此外，安装在室内的高精度热电偶提供精确的温度监测和反馈。该炉适用于一系列复杂的退火过程，从碱性退火到氧化或氮化。由于直接安装在炉体上的高性能气体输送系统，也可以清除污染物和其他有害物质。该系统可以通过集成软件手动或编程方式访问，让操作员轻松调整参数以优化流程。TEL Alpha 808的标准特性包括用于向加热室注入等离子体的E-off射频（RF）前祭坛源和内置在电源中的RF可调匹配桥。这样可以确保所传递的功率具有恒定的阻抗,并允许手动调整频率。TOKYO ELECTRON ALPHA 808配备了先进的安全功能，以保证人员和设备的安全。载荷室有一个集成的安全门，在燃烧室加热时自动锁定，温度限制和压力开关装置提供必要的保护。Alpha 808是为半导体行业量身定制的一整套解决方桉的一部分,确保客户能够获得市场上最先进的产品和服务。