二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808D #9026275 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808D是一种用于半导体制造的扩散炉和附件，用于在基板层之间移动掺杂剂和其他污染物。TEL Alpha 808D扩散炉为氧化、预清洁和外延等高通量过程提供了卓越的热管理能力。该炉有三种模组组态：单模组、双模组和三模组。Single模块设计适用于中低批量生产方桉。Double和Triple模块提供必要的灵活性和可扩展性,以满足生产需求。TOKYO ELECTRON ALPHA 808D提供垂直结构与几个集成炉.该炉提供多达18个加热区和五个质量流量控制器（MFC）和温度控制。溷合功率控制可使每个区域的温度范围更宽,最高温度为2,000 °C。3 msec的集成系统延迟时间有助于降低损耗，实现温度和粒子均匀性的提高。Alpha 808D扩散炉采用行业标准设计接口和协议。这使得它可以轻松地集成到现有的流程工具和系统中。基于机箱的体系结构便于安装和维护。该炉可承受高达65公斤的负荷，可选择使用可选的底部加热元件来增加负荷。它还可以容纳200毫米、150毫米、125mm直径等多种基材尺寸。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808D扩散炉符合最新的安全标准,为用户和系统提供保护环境。系统中提供了多种额外功能,如过程跟踪、排气反馈监测、像素分析和污染控制。总体而言，TEL Alpha 808D扩散炉及其相关配件为处理高吞吐量工艺提供了可靠、高效和经济高效的方法。它提供了增强的温度均匀性和颗粒均匀性，加上出色的热管理能力，使其成为中高批量生产的绝佳选择。