二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #293765066 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S扩散炉是半导体加工的先进工具。采用先进的空气浮动PID温度控制设备和多层石英烤箱，实现了一致的精度和吞吐量。当与附件安普尔注射器和热晶片载体一起使用时，TEL Alpha 808S能够显着缩短循环时间，改善温度控制，并从潜在的破坏性燃烧情况中回收卡住的晶片。TOKYO ELECTRON ALPHA 808S设计用于半导体、MEMS和微电子器件。它由坚固的3.2 kW单相电源供电,足以达到高达1300 °C的高运行温度。它由密封不锈钢外壳、粉末涂层铝合金框架和耐火石英内管等众多部件组成。使用多区温度控制的PID温度控制系统对炉子的温度和活动进行监测和管理，该系统允许在整个循环过程中精确控制晶圆温度。对于优越的氮（N2）纯度，Alpha 808S采用高性能的潮解型净化装置，使用固态过滤器来连续纯化氮。即使炉子在高温下运行,这台机器也能实现次ppm的氮气输送,这意味着该过程仍可保持高可重复性和一致性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S还支持一系列用于扩展工艺控制级别的附件产品。其中包括安普尔喷射器和热晶片载体，它们允许将晶片从炉子中精确、高效和安全地转移到其他加工工具之外。含有金属前体的安普尔也可以很容易地输送到炉中，以进行更精确的层压和细节控制。这些只是使TEL Alpha 808S成为高级半导体设备制造任务的绝佳选择的几项功能。其卓越的设计确保了均匀的温度和活动,同时提供了可重复的结果和始终如一的高质量性能。凭借其附件产品,TOKYO ELECTRON Alpha 808S可以在广泛的制造要求中处理整个过程,从而提供了一种安全可靠的方法来以卓越的精确度完成最艰巨的任务。