二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #293775046 待售

ID: 293775046
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Furnace, 8" Process: Diffusion CIM: Linked Factory interface: SMIF Handler system: Wafer transfer robot 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S是一款功能强大且先进的扩散炉及配件包装,旨在满足各种晶圆扩散过程的需求。该设备采用全自动、双区域设计,可实现快速、均匀的加热,同时为用户提供精确的温度控制。TEL Alpha 808S利用高密度、超厚的石墨加热元件,形成高达800°C和800°C/+10°C的区域。这种双区加热元件覆盖着厚厚的不锈钢,精心制作,以提供一致和快速的温度变化与一个优秀的均匀性模式。在过程控制方面,该系统采用4位LED的微处理器控制石英时钟,确保温度控制精确可靠。TOKYO ELECTRON ALPHA 808S配有RTC(调节温度控制)数字计时器,允许用户设定所需的扩散过程温度和持续时间。在物料输送方面,这台机组配备了一个多区的粘性流动熔炉,能够精确控制向保护性石英或石墨加热器的扩散源材料。此外,这台机器还配备了直观且用户友好的个人计算机(PC)控制工具,使此资产成为晶圆扩散过程中的理想工具。Alpha 808S用途广泛,提供多种兼容的工艺室,包括淋浴头、对峙环和屏蔽系统。再者,这种扩散炉可以容纳各种尺寸的晶片,从小型到超大型晶片不等。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808S还具有几个旨在促进安全的功能,如保护石英和石墨加热器、热关闭、温度传感器中断、互锁系统和自检功能。总体而言,TEL Alpha 808S扩散炉和附件包是一个可靠和强大的工具,旨在确保快速和均匀的晶圆扩散过程。它的多区粘性流动熔炉、高密度厚石墨加热元件,以及直观的PC模型,使得这款设备无论大小操作都非常理想。TOKYO ELECTRON ALPHA 808S扩散炉具有用户友好的设计、安全特性和强大的工艺控制,是晶圆扩散过程中的一个极好的系统。
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