二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Z #9083658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC-Z是一种配有多种配件的扩散炉，协助晶圆加工。这个扩散炉是对流行的Alpha 808SC模型的升级。它具有改进的温度均匀性和晶圆接触，使其非常适合外延生长和最苛刻的热过程。该炉采用垂直结构设计，可选择两种受控大气：N2（氮）或溷合N2/H2（氮/氢）。温度范围为50至1000 °C，使用可选的石墨敏感器和加热器可将最高温度能力延长至1000 °C以上。高温性能使得这种扩散炉非常适合先进的设备开发过程，如高k电介质和金属闸门。这种扩散炉的显着优点是能够同时以4x2构型容纳8个6英寸方形晶片。具有可靠吸热气流的高精度定位，在整个炉区内均可调节温度均匀性。其他特性包括具有内置温度测量能力的盒式磁带和晶片支架，以及一系列安全特性，如内置的氮气净化系统，以防止氧化。此外，扩散炉支持使用符合SECS/GEM标准的软件进行在线监测和数据收集。这使操作员能够有效地管理整个过程，从炉子设置到晶圆处理。TEL Alpha 808SC-Z扩散炉是一种强大可靠的晶圆加工工具.它提供卓越的温度均匀性，改善晶圆接触，并且可以容纳各种基材和加工气体。凭借其高精度的温度控制、高端的安全特性以及符合SECS/GEM要求的软件，该扩散炉是先进设备开发的绝佳选择。