二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9083659 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC
ID: 9083659
Vertical LPCVDs Process: SiO, SiN.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC扩散炉是为电子器件加工而设计的最先进的制造工具。TEL Alpha 808SC是一种单晶圆垂直管式炉,能够使硅和其他材料的气相沉积。该炉最高运行温度可达1000摄氏度,提供高质量的热稳定性和均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC的紧凑设计使其非常适合广泛的应用,包括先进的器件生产、制造、半导体研究和教育用途。ALPHA 808 SC炉具有两个直接驱动的电动提升级,为处理基板和晶片提供了卓越的速度和精度。每个舞台通过位于机器正面的触摸屏面板独立控制。控制面板还有一个集成控制器,配有图形用户界面,便于操作和纠错能力。该设备还包括一个自动通风口系统,可安全、高效地疏散过程中使用的任何化学品。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC设有两条内部气体供应线(IGSLs),允许在过程中引入最多三种不同的气体。内置气体溷合器可确保整个管道的气体分布均匀,从而提高工艺均匀性,提高产量。为了最大限度地提高效率,该机组还拥有一台自动化的压力和温度控制机,可以为每个应用程序独立调整工艺参数。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC附有一种先进的晶圆传递工具,可以安全有效地装载和卸载基板。传输资产可以容纳各种晶圆尺寸,最大直径为6英寸。该模型与几种机器人模型兼容,允许在扩展过程中甚至高速加载和卸载晶片。Alpha 808SC是一种经济高效且可靠的熔炉,旨在满足最苛刻的制造和研究需求。先进的特性和控制能力使其成为生产各种电子产品和半导体的理想选择。TEL ALPHA 808 SC可以帮助节省时间和金钱,同时仍能提供优异的性能和质量效果。
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