二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE #9097867 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCE Diffusion Furnace是一种高性能、高品质的设备，设计用于半导体制造中高度精确的晶圆加工。TEL Alpha 808SCE配备了TEL专利的CX系列控制器，提供即时温度控制和均匀性，可实现生产率提升和可靠的高质量效果。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCE提供了多种先进的特性，如渐进式炉载、低能冷却、自动湿气密封，以及快速、精确的温度和压力控制。其先进的自动恢复功能允许轻松操作,使操作员能够在整个处理过程中快速恢复过程控制并保持适当的晶圆温度。此外，扩散系统的应力均衡特性有助于最大限度地减少扭曲形状的变化，使晶圆产量高，并进一步提高质量。Alpha 808SCE配有几个附件,旨在增强工艺能力。其中包括间隔器旋转单元（SRU）,该单元可优化对齐并增强均匀性。履带装置使您可以轻松地从腔室加载和卸载晶片,而穿梭装置可确保在腔室内轻松移动,同时最大限度地减少污染和工艺变化。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE通过各种工厂升级选项进一步增强,包括额外的温度区、额外的压力传感器和多达30个额外的区域,以优化均匀性。改进冷却板（ICP）是可升级的冷却装置,旨在通过显着减少冷却晶片所需的时间来改善层轮廓和缩短循环时间。TEL Alpha 808SCE还配备了增强型大气控制机（EACS）,可在处理过程中管理、监控和保持最佳气氛。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCE旨在提供高水平的性能和可靠性,同时支持各种工艺要求。Alpha 808SCE扩散炉的先进技术和弹性保证了最大的生产率提高和最佳的设备性能。