二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097247 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCN是一种具有单级直流电（DC）平面磁控管源的电子回旋共振（ECR）离子植入扩散炉。这种强大的工具可用于沉积各种材料的薄膜，如铝、二氧化硅、氮化物等，用于各种电子应用。它配备了双侧狭缝快门控制的平面炮，用于偏振独立的均匀性控制和能量调制，使得层沉积更加精确高效。TEL Alpha 808SCN是所有ECR离子植入扩散/溅射系统的标准平台，有大量参数的完全手动和自动控制。它具有6区温度控制系统，可用于调节膜沉积过程中的底物温度，以及两个额外的压力控制区，以优化扩散过程。所有操作都可以通过简单易用但功能强大的操作员界面进行管理。该机设计用于晶片处理高达8英寸（203.2毫米）的晶片，最大可用气体压力为1000毫巴。它还提供了气体净化能力，使用户能够将气体净化引入沉积室，以提高安全性和性能。此外，它还能够使用氘和氮来裁剪沉积工艺，从而可以制造专门的金属氧化物。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCN是一种极精确的工具，提供高分辨率的离子植入过程，与传统工具相比性能水平优越。它还被证明是一种高效的生产工具,具有自动进料/出料功能,允许高吞吐量和快速周转时间。Alpha 808SCN是一种真空兼容、隔离的ECR单级直流平面磁控管源扩散和溅射工具,旨在满足所有扩散和溅射需求的最新技术和工艺要求。其先进的特性使其成为当今领先的扩散炉之一。