二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293759916 待售
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ID: 293759916
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
Pyro CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是用于制造集成电路（ICs）的扩散炉及配件。该设备为掺杂剂扩散到基材中进行设备集成提供了可重复和可靠的热处理。TEL Alpha 808SD具有一个显示器,可以控制和监视晶圆处理。它有一个开孔管设计，带有一个氙氧化室，一个平板石英反应堆和一个排气管。的氧化室设计方便高温氧化硅等高温工艺步骤。平板石英反应堆的设计是为了确保晶片上的温度均匀，同时保持高通量。排气通风室的设计目的是提供高效的氢气及其部件的排气。系统装有两个大的加热元件，最高温度为1200 °C。它还具有过程控制功能，能够精确控制温度、时间和流量等热过程参数。这确保了可重复和可靠的晶圆处理。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD包括一个四区加热单元，可以快速加热晶片和快速冷却。该机器有一个自动气体输送工具，有助于保持室内的环境条件受到控制。Alpha 808S提供主室泄漏的泄漏检测。它还包括一个样品载荷端口，以便在正压下装卸晶片。TOKYO ELECTRON Alpha 808SD是一种模块化设计的不锈钢结构。不锈钢提供方便的维护和安装。它还确保无泄漏环境。Alpha 808SD资产配有多种配件，包括样品支架、冷却剂套件、碳棒、灯丝套件和盾牌。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD是一种坚固可靠的扩散炉及附件，设计用于提供可重复可靠的晶圆扩散处理。它是制造优质集成电路的绝佳选择。
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