二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293765074 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一种扩散炉及其附件。它旨在创造一个有利于热氧化、驱入和驱出、湿氮化和其他扩散处理的精确环境。TEL Alpha 808SD扩散炉的最高温度范围可达1250 °C。搭载12.1英寸彩色触摸屏可编程控制器。它允许直接输入流程应用程序和参数，以及为每个应用程序类型选择最佳流程模式。控制器最多可在其内存中存储40种配方。控制器具有可选择屏幕显示选项的进程监视功能。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD扩散炉还配备了基于微处理器的过程监测设备（PMS）、模拟光学高温计、热电偶和驱动控制系统。PMS能够自动计算过程变量,如设置温度、温度速率和总周期时间。它还具有各种自动报警功能，如温度过高、温度不足和温度偏差报警。Alpha 808SD扩散炉还装有自动装载机。该自动装载机的设计使多个晶片能够轻松高效地装入扩散炉。它具有重力、真空和弹簧载荷等各种类型的载荷。自动装载机配有微处理器控制的精确运动机构，以确保加工表面的温度分布精确均匀。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD扩散炉还具有水平输送装置.该机器设计用于通过光路将晶片从自动加载器运送到加工室。晶片在运输过程中牢固地固定,确保精确、安全的加工.ALPHA 808 SD扩散炉还具有排气工具。该资产的设计目的是迅速从工艺室内清除蒸气、废气、烟雾和颗粒。这些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD扩散炉及其附件成为精确扩散处理的可靠有效工具。
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