二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083539 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一种先进的扩散炉及相关配件，旨在提供均匀、高精度的半导体晶圆掺杂。TEL Alpha 808SD的基本设计由一个高温热室、两个电子束枪和一个辅助气体分配设备组成。该炉能够在高达1,100 °C的温度范围内工作。炉子可以加热直径达4英寸的样品，最多可进行999次循环，循环时间为10分钟或更短。两个电子束枪是负责半导体晶片均匀精确掺杂的元件。喷枪能够独立或同步运行，产生低、中或高电子电流强度，精度高达+/-10 V。电子束喷枪得到辅助气体分配系统的进一步辅助，该系统产生一个分子束，用于精确应用和向炉子中注入不同的掺杂气体。该设计还采用了先进的真空装置，其中包括液氮冷却冷冻泵，以及用于精确控制气流和温度的自动气流和温度调节系统。最后，TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD还包括一个精密的反馈控制机器。这调节了电子束的空间能量分布，允许对样品掺杂过程的精确控制。总之，TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一种先进、精确的扩散炉及相关配件，旨在提供均匀、高精度的半导体晶片掺杂。该工具具有高温热室、两把电子束枪和一个辅助气体分配资产，所有这些都结合在一起，提供了精确受控的掺杂过程。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD还具有调节电子束空间能量分布的复杂反馈控制模型。