二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083540 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是由全球半导体设备制造领导者TEL设计的扩散炉及配套配件。它是用于形成集成电路和其他晶圆的热处理装置。TEL Alpha 808SD包含多个组件,以确保最佳处理结果。该系统包括两个计算机控制电源，一条高温线路和一个工艺控制器。它还包括一个扩散炉、一个可调伸缩臂（便于装卸）和一个隔离阀。过程控制器允许为每个过程设置精确的温度、大气气体和时间参数。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD带有独特设计的扩散炉，提供均匀的温度分布和优异的温度均匀性。它的墙壁特别涂有防止污染的涂层，内部有一个持久的不锈钢衬里。该炉还包括一个渐进加热系统和可调节挡板，有助于保持均匀的温度分布。TEL ALPHA 808 SD能够在短时间内处理大量基板，其依赖力的隔离阀技术保证了安全运行和快速冷却。此外,它的模块化设计使部件易于维护和调整。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD允许在各种应用中进行高效晶圆处理。适用于薄膜硅化、聚硅、栅极电介质、金属沉积在选择性区域和MEMS应用。也适用于RTP、干蚀刻、扩散、氧化、LPCVD和金属的电化学沉积。总体而言，Alpha 808SD是一个功能强大的扩散处理系统。提供优良的晶圆加工控制、均匀的温度分布和可靠的操作。ALPHA 808 SD具有耐久的不锈钢衬里和可调挡板，非常适合广泛的扩散加工应用。