二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083542 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一种高速的、最先进的扩散炉及配件设备,旨在满足当今现代半导体制造工艺的严谨需求。它是目前市场上最可靠、用途最广泛的扩散系统之一。TEL Alpha 808SD具有坚固的结构和先进的热控制技术,可确保整个周期中扩散过程的一致性和可靠性。这套完整的炉子系统具有多种先进功能,包括可选的高八区配置,可精确控制热板温度,以及易于维护的石英玻璃盖设计,以提高工艺控制。主室可采用高强度、不锈钢框架密封,而并排RF发电机和高精度阀门单元则保证了优异的工艺重复性。机器还包括一个具有预测补偿的14级工艺控制器,可以适应任何特定工艺的要求,因为它提供了即使在扩散周期进行中也能适应工艺设置的能力。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD包括专有的实时软件工具,用于过程监控和数据记录。此资产旨在与其他数据管理软件解决方桉集成,以跟踪流程信息。这可用于实时优化流程设置并提高产品产量。该模型还包括一个节能的自热功能,优化电源切换,在不牺牲循环时间的情况下减少消耗的能量。可以添加一个可选的远程操作套件,允许通过网络连接进行操作和监控,并且集成到主腔室的微狭缝阀允许用户在不中断过程的情况下安全撤离腔室。此外,设备设计通过所有必要的安全标准,以保护操作员。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD是一种强大可靠的扩散炉系统,非常适合现代半导体制造工艺。凭借其先进的功能,该设备能够可靠地满足制造商最严格的工艺要求。该机器坚固的结构和直观的设计使其易于操作和维护,并且它与各种其他数据管理工具的兼容性有助于高效的过程管理和优化产品产量。
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