二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097849 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一种用于晶圆制造高质量加工的扩散炉及配件。扩散炉的集成控制器和高速数据通信设备使多达8个晶片的处理不需要任何机械交换。这使得系统能够产生精确的晶片，具有干净、均匀的表面结构，对于可靠的半导体性能至关重要。TEL Alpha 808SD扩散炉利用在低密度石英玻璃管室中移动的石英管。这使管子比其他扩散处理型号更快地被加热和冷却，导致加工时间更短，产量更高。然后用高压氮清洗腔室，保持低温，保护内部晶片免受污染。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD还具有一个气体供应单元，它提供自动三向创建背面砷（BSA）工艺，使其能够对该工艺进行超精确控制。该扩散炉还采用化学氢化氧化沉积工艺，在保持质量的同时，使工艺时间缩短3/4。ALPHA 808 SD还具有负载锁定传递功能,使其能够最大程度地减少晶圆暴露和污染。集成时钟恢复电路使高速I/O端口可用于与半导体绝缘栅极双极晶体管（Si-IGBT）控制器通信。这允许对工艺参数进行精确、精细调整的控制,这对于生产高质量的晶片至关重要。TEL ALPHA 808 SD是一种极可靠、高效的扩散炉，能够生产出浪费最少的优质晶片。集成控制器和高速数据通信机提供无机械交换的一致处理，CHOD过程使得处理时间短，产量高。负载锁定传递最大限度地减少了晶圆污染，集成时钟回收电路确保了工艺参数的精确控制。利用TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD，半导体制造商可以保证有一个可靠、高效的扩散炉。