二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097854 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一种先进的扩散炉和附件,提供卓越的设备性能和可靠性。这款扩散炉采用单模块设计,采用了多功能、热能和控制设备,使制造商能够轻松地融入其设施。TEL Alpha 808SD还设有一个由两个模块组成的双层建筑系统,第一个模块控制加热速率、温度均匀性和热均匀性,而第二个模块负责执行基于配方的操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD利用水平载荷、圆顶形的炉子,配有双侧壁和内部隔板加热,以提供更好的热均匀性和重复性。该炉采用先进的红外加热装置和电动清洁机,性能优越。由于圆顶形状,熔炉能够保持较大的温度范围,摄氏30-1000度,用于晶圆加工。该炉还配有内置的双热屏蔽装置和闭环温度控制器,以防止环境波动。这种扩散炉还可以容纳多种晶圆尺寸,直径可达8英寸,一次可处理多达30个晶圆。Alpha 808SD包含多达10种可编程配方,允许用户轻松定制其热处理技术。该炉还能够精确控制温度梯度和波动,同时其均匀性控制确保了从一侧到另一侧的最小变化。TEL ALPHA 808 SD的设计和工程符合国际安全标准,炉子还配备了互锁工具、过温探测器、应急预警装置、自动关机等综合防护功能,以实现最佳安全。其先进的设计还包括保温,以尽量减少损失和降低能耗。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD代表了强大可靠的扩散炉及配件,是制造商寻求提高生产产量、重复性和工艺可靠性的理想选择。
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