二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SDN #9157897 待售
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ID: 9157897
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
System, 8"
Dry ox
Controller type: TS4000Z
Gas:
N2
O2
Ar
Hcl
150 Wafer/bacth
VMU-40-102EX2
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SDN是来自全球最大的半导体公司之一的扩散炉及配件包装。TEL Alpha 808SDN(区别于Alpha 808N模型)具有强大的SiH4/H2多气体溷合物、5000 pph(分件/小时)的性能、改进了对808N模型的均匀性和温度控制以及提高了产品质量和吞吐量。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDN采用全新的设计,提供的散热能力超过了同类型号。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SDN具有强大的腔室设计,能够容纳多种气体溷合物,包括SiH4、H2、Ar、N2、NH3和SF6。这使得它成为扩散过程的可靠而有力的选择。增加的温度均匀性和增加的温度控制能力使其适合具有挑战性和苛刻的扩散过程。该机配备精密PID控制,用于精确控制温度,使其达到高达1250 °C的温度。ALPHA 808 SDN还具有专有的自动端点检测设备,可精确控制热轮廓均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SDN还包括一系列高级功能和选项,以确保一致和可靠的扩散过程。这些包括自动气体溷合、温度均匀性管理和高水平的性能质量保证。可以根据客户的需求和要求定制程序,包括特定的一致性和流程参数。这使得用户很容易控制炉子,并确保一致和最优的扩散结果。Alpha 808SDN扩散炉配有一系列附件,旨在提高工艺效率和改善整体扩散过程。其中包括一个30英寸长的管状石英水射流,旨在在扩散过程中提供高效和可靠的热均匀性。这些附件还包括一个先进的高速数据采集系统,旨在测量和分析设备的热特性。此外,该装置可以适应不同的气体溷合物,防止污染和提高机器效率。总体而言,TEL ALPHA 808 SDN是一种坚固高效的扩散炉,具有一系列高性能特性。从软件控制到高级配件,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SDN提供了一个可靠高效的平台,以精确的控制和高质量的结果进行扩散过程。
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