二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SN #9083660 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SN扩散炉及配件（Diffusion Furnace&Accessorie）是一种全自动半导体生产工具，具有受控的热和化学工艺，用于制造半导体芯片和其他硅产品。TEL Alpha 808SN是TEL的最新机型,具有广泛的功能和设计增强功能,使其适合任何生产环境。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SN具有一个高温室和三个独立的工艺烤箱，每个烤箱都有自己的一套工艺成分，用于以下工艺：热氧化、杂质掺杂和磷掺杂。先进的控制设备设计用于监测温度、流量、压力和其他工艺参数，以确保产量一致且可重复。它支持各种工艺配方,并能够根据定制生产需求定制配方。Alpha 808SN还包括一个独特的两级快速冷却系统，它允许对腔室和加工烤箱进行快速冷却，以减少颗粒污染和均匀性问题。两级机组还降低了能耗，并允许在预热和循环暂停后快速恢复到目标温度。这台机器可以提高吞吐量和可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SN还配备了智能电源传递工具,该工具包含三相、低波纹、直流电源,可为每个工艺提供最佳电源。这种高效的电力输送使热应力最小化,并允许更好的温度稳定性和均匀性。TEL Alpha 808SN还有一个内置的压力控制资产,可优化加工炉内部的压力水平,同时确保安全的环境。该模型保持了室内的可控气氛，有效消除了气体泄漏，从而提高了工艺产量。最后，TOKYO ELECTRON ALPHA 808SN还配备了自动传送设备，方便晶圆的转移和加载。该系统需要最少的操作员交互,旨在提高效率和减少生产停机时间。输送机装置还确保将晶片精确放置到加工烤箱中。总之,Alpha 808SN扩散炉是一种先进可靠的半导体生产工具.它具有能够精确控制过程、快速冷却、高效供电、压力控制和自动化输送机的功能,所有这些都有助于提高效率和可靠的生产成果。