二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092846 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA是一种扩散炉及其附件，用于精确控制精确热电沉积的掺杂剂和温度分布。该扩散炉可提供高达1050°C的工艺温度,并提供多区和快速坡道上升/下降能力,以提高均匀性。它还具有热分解技术，以提高工艺的均匀性和工艺的灵活性。TEL Alpha 81-ZA设备由一个炉区和一个控制器以及一些附件构成。炉区由垂直石英管（或管船）和氧化铝顶载式炉膛组成。这有助于水平对流冷却，以提高均匀性和快速加工。该炉还配有石英衬里和石棉绝缘材料，以提高工艺效率和安全性。系统控制器用户友好,带有大型图形图标,可引导用户浏览菜单和进程。这可以让用户准确控制压力、温度、加热速率等功能。控制器还配备了精确的传感器和热电偶探针，以帮助确保精确的温度测控。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA单元还包括一些其他配件，以方便高效、精确的处理。这些包括推脚踏车、石英crucibles、晶圆载体、扩散钟形罐、间距杆、真空端口和水冷电极。所有这些共同努力提供一个安全和有效的扩散过程。总体而言，Alpha 81-ZA是一种先进的扩散炉及附件机，用于精确控制加工。它提供高达1050°C的温度,具有多区域精度和卓越的工艺均匀性。人性化的控制器和各种配件还提供精确的控制、方便和安全。此工具非常适合任何需要精确热电沉积的应用。