二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092848 待售
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ID: 9092848
晶圆大小: 8"
Furnace, 8"
Process capability: Pyro
Zones: 5
Process gases: N2, H2, O2, DCE
Controller model: TS4000
Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater
CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA是一种最先进的扩散炉和配件,设计用于生产高纯度半导体材料,如单晶硅(Si)和其他化合物材料,用于微电子元件。这款高性能设备由快速有效的微观管理模块、超高分辨率成像系统、极端温度稳定等先进技术驱动。快速有效的微观管理模块,又称过程控制模块,使工艺工程师能够对炉子的整个温度和压力参数进行精密编程和管理。该模块不仅能够密切监测炉子过程的所有参数和条件,而且能够快速、方便地实时诊断、评估和纠正问题。安装在设备内的超高分辨率成像单元允许对小至0.1微米(1/100毫米)的组件进行详细测量。极端的温度稳定性进一步强化了炉的性能;对于摄氏10至2000度的温度,它是准确且一致的。TEL Alpha 81-ZA扩散炉还有一个符合人体工程学的设计,其组件如门、前进门板、安全门都位于机器的下部;这样可以方便地进入设备内部。此外,扩散炉内部的高效空间利用使零件和部件的填充速度和精度更高。同样值得注意的是,扩散过程很容易自动化。使用TEL/Tokyo Alpha Series软件,内存库中最多可以存储16种配方,以便快速参考和修改。这使得开发工艺配方变得容易,支持先进半导体器件的设计和生产。最后,TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA扩散炉通过了广泛的安全措施认证,包括详细的监控和自动化。这确保了该工具的安全使用,并为半导体材料的生产提供了一个舒适和安全的环境。综上所述,Alpha 81-ZA是一种先进可靠的扩散炉及配件,在设计时考虑到精密、精确、专业和安全。它将超高分辨率、温度稳定性和自动化过程控制等多项高科技功能结合到一个符合行业标准要求的综合资产中,成为现代半导体器件生产的理想解决方桉。
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