二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092856 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA是一种扩散炉及其附属配件，是处理半导体基板的强大的一体设备。该系统能够进行低温氧化、高温氧化物生长、低温掺杂剂沉积和高温沉积离子植入。它配备了一个符合人体工程学设计的控制站，该控制站具有用户友好的软件和功能，能够执行从批处理到单晶片负载的过程，而用户只需付出最小的努力。该机组的热源炉室安装在钢架上，有一个受控的石英石英内衬和一个由两半铝组成的外壳。它呈圆柱形，顶部平坦，最多可容纳十六个晶圆。炉房由悬挂在炉房顶部的一系列钨线圈加热，并由高频电源驱动。线圈会自动卸下以进行维护和更换。腔室的温度由与线圈相连的控制炉控制器控制，控制机提供电源，并将从探测器、温度补偿器和烤箱控制器接收到的信号转化为从热电偶计获得的所需温度。该炉控制器可以编程与不同的配置文件为每个步骤的处理。此外，炉控制器还配备了安全和安保功能，如联锁、报警和警告。该工具包括一个排气阀资产连接到腔室，并配有一个风扇驱动的流量计用于测量气流。排气阀的作用是防止环境远离炉内高温，并通过限制排放的气体来防止污染。TEL Alpha 81-ZA还包括一个液态制冷剂模型，连接到腔室和全自动泵设备。炉膛内有充气管，用于温度和压力读数。制冷剂冷却腔室，在需要改变温度时允许快速恢复时间。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA被设计为半导体行业中高效、经济高效的解决方桉，为要求苛刻的应用提供了通用、准确的处理能力。Alpha 81-ZA具有符合人体工程学的优化控制系统、简单的用户界面和丰富的高级功能,是任何希望提高处理能力的实验室的理想选择。