二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN #9092857 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZAN是一种精密的扩散炉及配件，用于半导体加工应用。它具有复杂的多区域温度控制和热循环选项,为超高产量和顶级质量输出提供了精确的工艺参数。TEL Alpha 81-ZAN所创造的精确度允许以始终如一的高效率进行层移、高温氧化过程、氮化物处理和气相沉积过程等过程。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZAN包括一个方向型、多室真空扩散炉和一个硬件和软件部件设备，这些设备提供了一整套工具来准备和控制各种扩散过程。该工艺室采用高级不锈钢结构，包括两个独立温区的加热线圈系统，可实现不同的扩散速率。先进的基于开尔文的温度控制单元允许调节工艺参数，以提高精度和可重复性。机器还包括一个自动刀具控制器（ASC），允许连续监测功率水平和温度控制设置。ASC还集成了RS485远程诊断功能,允许用户访问历史数据日志以及执行流程优化和故障排除。该资产还包括一个可变压力发射控制装置（VPECD），它允许在工艺室内为各种应用创造精确的压力。为了安全和长期可靠性，Alpha 81-ZAN配备了温度安全监测器和控制气流的联锁模型。为减少维护和停机时间,设备采用了符合人体工程学的优化外壳和集成LED显示屏,便于监控和诊断。该装置还配有一套样品储存用品，包括石英管、瓶盖和冷却器。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZAN是一种先进的扩散炉及配件，专为顶级半导体加工能力而设计。它提供了许多功能,以实现卓越的温度控制和准确的工艺参数,以及监控和优化系统所需的硬件和软件工具。TEL Alpha 81-ZAN结合了安全性和可靠性的特点,是技术和电子行业广泛应用的理想选择。