二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092858 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV扩散炉是一种自动化的半导体扩散和热处理设备，专门形成用于IC器件和其他电路元件的多晶硅互连。扩散炉有一个单一的方便位置，温度范围为150至2000摄氏度。它具有三个集成系统：一个高温低压退火室；低应力炉；以及一个氧化和蚀刻室。HTLA室利用精确的温度分析设定点在高温处理应用中产生均匀退火。该腔室能够提供52至1800摄氏度的数值,用于精确的异常性能。低应力炉也适用于高温处理应用，产生摄氏45至1500度的数值。氧化蚀刻室可编程以满足具有挑战性的氧化蚀刻需求，并提供摄氏3至950度的值域。TEL Alpha 81-ZV扩散炉具有智能灵活的控制系统，能够实时监测、记录、分析和显示所有参数。直观、用户友好的界面为用户提供了包括晶圆循环状态、工艺配方、工艺时间和周期时间在内的信息。该炉还具有可编程的四区均衡器，用于精确控制横向温度梯度。它配备了石墨敏感器，也有一个大气压力碳氢化合物为基础的大气站，用于气体的均匀分布。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV扩散炉设计用于制造可靠且无缺陷的半导体器件。其特点是保持晶圆表面的温度均匀性，具有跟踪周期性能和工艺优化的数据记录和分析功能。该炉还内置了惰性气体低级检测、内部超压检测以及氧气减压保护等安全传感器。此外,该设备符合SEMI S2标准以及ESD和EMI准则。总体而言，Alpha 81-ZV扩散炉是一种适用于IC元件高温处理的集成机器，其设计可提供均匀的退火和可靠的性能。它具有用户友好的界面、精确的控制工具、安全传感器，并符合行业质量保证标准。