二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092859 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV扩散炉是一种用于集成设备处理的单浴垂直炉设备。它拥有最高1,100 °C的工艺，并能容纳多达6个晶圆。由主框架、气线、上层水平隔热罩、下层水平隔热罩、敏感器和晶圆船组成。主框架采用不锈钢制成，并配有高纯度氮气净化气体排气系统。它还包含一个小气瓶的地方，石英玻璃窗和快门。气体管线为反应室提供氮气、氢气或卤化氢，用于各种过程。上下水平隔热罩组成反应室，由高级氧化铝陶瓷材料制成，用于隔热。磁感器为圆柱形高温石英玻璃，直径8英寸（203毫米）。晶圆船的设计最多可容纳六个直径100毫米的晶圆。船用石英材料制成，并设有内置通道，使气体通过船体进入反应室。炉子有一个触摸屏彩色监视器，可以监视和控制温度和其他设置。还有一个配方程序功能，可以方便地将工艺配方装载到炉子上。该装置还设有氧化/氮化机，具有多种模式（例如快速氧化、快速氮化、低温氮化、槽式氧化等），以满足各种设备的需要。排气风扇也可用于工艺室，以保持稳定的压力，确保安全和清洁的气氛。最后，TEL Alpha 81-ZV的设计中内置了多种安全特性，在发生电源故障的情况下，除了警报声外，还重新加强了炉的安全运行。最后，TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV扩散炉提供了一系列的特点，使其成为集成设备加工的高效、经济高效的工具。它提供了其他扩散炉系统所没有的安全和便利的组合。