二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZVFN #9092860 待售
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ID: 9092860
晶圆大小: 8"
Furnace, 8"
Process capability: TiSi
Zones: 5
Controller model: TS4000
Process gases: N2, N2
CE mark: Yes
Accessories: CVD system, loadsize 100, VMU heater.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZVFN是一种用于生产高度工程化材料的扩散炉。它是一种用途广泛、可靠的熔炉,用于多种行业。TEL Alpha 81-ZVFN是一种垂直炉,具有方便的腔室大小和宽阔的门,在生产过程中容易进入。气体分配系统保证了均匀的温度,以便进行一致的处理.该炉具有先进的技术和特点,便于高效运行和精确控制。其现代特性允许进行自动压力摆动控制,循环精度达到华氏1-10,000度,并对可选参数进行实时温度控制。这样就可以在较长时间内精确控制数据。使用最佳真空系统作为其设计的一部分,使TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZVFN能够实现更好的能量效率。其硬件与各种不同的气体兼容,用于更复杂的应用。炉子还配备了数字显示屏,使操作员能够轻松地从前面板调整设置。Alpha 81-ZVFN配有多种配件,可用于改进生产流程。其中一些包括冷却风扇、通道管和气体容量罐。冷却风扇在高活度期间保持腔室内部不受污染,而通过管道则允许气体在系统中自由移动。燃气容量罐可以增加可用气体量,也可用于将有害气体储存在远离主室的安全容器中。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZVFN是一种可靠的扩散炉,设计用于各种生产过程。其先进的特性和配件允许高效的操作,精确的控制,并提高能效。包括数字显示屏和调整前面板设置的能力使这种炉子成为需要可靠和精确生产设备的人的绝佳选择。
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